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        電容式加速度傳感器工作原理

        更新時(shí)間:2021-07-01   點(diǎn)擊次數(shù):2675次

        電容式加速度傳感器,多種量程可選:2g/5g/10g/30g/50g/100g/200g低頻振動(dòng),傾斜測(cè)量MEMS加速度傳感器,采用變電容原理(當(dāng)敏感元件受到加速度作用產(chǎn)生偏移,引起電容成比例變化);該傳感器MEMS敏感元件具有良好的低頻和直流響應(yīng)特性,體積小、重量輕、全密封、殼體硬質(zhì)鋁氧化可靠隔離,特別適合于分析低頻或恒定加速運(yùn)動(dòng)。

        主要技術(shù)指標(biāo)

         

        靈敏度(20±5

        1000 mV/g

        測(cè)量范圍(峰值)

        ±1 g

        大橫向靈敏度

        ≤5 

        頻率響應(yīng)(-3dB)

        0~ 800 Hz

        非線性

        ≤0.5

        工作溫度范圍

        -40+120 

        溫度響應(yīng)                            

        見溫度曲線

        沖擊極限(無供電)

        5000 g

        靈敏度溫度系數(shù)

        0.3 %/

        噪聲

        45 ug/√Hz

        輸出阻抗

        100 Ω

        供電電源

        +6+16 VDC

        工作電流

        ≤5 mA

        g偏置電壓

        2.5±0.1 V

        安裝

        4-φ2.8

        殼體材料

        不銹鋼

        重量

        20 g

        輸出方式

        整體三芯屏蔽電纜線 

        紅線:正電源;白線:地;綠線:輸出

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